減速機齒輪的最終熱處理采用使零件變形較小的齒面高頻淬火;高頻淬火后得到的齒面具有高的強度、硬度、耐磨性和疲勞極限，而心部仍保持足夠的塑性和韌性。
為減少減速機變形，齒面高頻淬火應采用較低的淬火溫度和較短的加熱時間、均勻加熱、緩慢冷卻。